真空室內(nèi)腔尺寸：φ2050mm*H1650mm

真空系統(tǒng)：擴散泵+雙極旋片泵+羅茨泵+維持泵+POLYCOLD

晶控：MXC-3B +六探頭

蒸發(fā)源：雙槍+固定阻蒸

空載極限真空：8.0x10^-5Pa

空載恢復真空：2x10^-3Pa ≤10min

加熱溫度：最高250℃

選件：離子源  /旋轉(zhuǎn)阻蒸

電源：三相   380V    50HZ

設(shè)備重量：約11T

真空鍍膜機的內(nèi)腔尺寸、泵組配置等可根據(jù)客戶的鍍膜工藝量身定制